时效与事实天堑：本文为2020年的听说是地表最强：EPSON微压电打印头造作技术资料；设备、资料、律例、接口、服务或供货状态可能变动，当前规划应以现行规格、SDS、官方文件和真实测试为准。
微机电打印芯片造作
微机电打印芯片是在日本Nagano县的爱普生SuWaMiMai工厂造作的。三个硅芯片-一个TFP执行器，一个墨水通路，和一个喷嘴板-粘合在一路。通过TFP致动器的泵作用，通过墨通路的墨流蹊径进入的墨从喷嘴排出。它的创新薄膜压电技术被用来出产TFP致动器，其创新的MEMS技术被用来造作芯片组件。
1：ThinFilm Piezo（TFP）技术
TFP致动器是在硅衬底上形成的极度薄的压电元件。压电元件在施加电压时收缩。这一活动提供了驱动墨水从喷嘴板流入墨水流动蹊径的动力。
薄膜压电技术被用来在硅晶片上均匀地形成压电元件，一微米厚的薄膜。选取自己的结晶工艺烧结，形成拥有一致取向的优质陶瓷晶体。
这些TFP致动器提供了极度精确的节造液滴大幼和搁置和惊人正确的打印。这是由于它们的均匀晶体结构意味着当它们收缩时，它们维吃旖均的位移，并且由于压电薄膜的极端薄允许更大的收缩，因而有更大的位移。
爱普生自己造作压电元件的资料；棺灾骺⒘擞糜诤铣勺柿系幕Х从彻桃约昂铣缮璞；竦米罴蜒沟缱柿弦月阊沟缭的机能要求对他来说是一个巨大的优势。
2：微机电系统科技
高精度，三维亚微米光刻是爱普生MEMS工艺强度的源泉。在通常的半导体造作中，平面加工所需的尺寸精度很高，但是厚度所要求的精度并不是那么高。在光刻工序中使用的工业设备通常有百分之几的变动，但可能将这种变动限度在从五分之一到极度之一的领域内。
这种精度超过传统系统，是业内最好的。正是这使得爱普生可能形成极其精密复杂的TFP致动器、墨水通路和喷嘴板。这些都提供了对喷墨墨水体积的微微级节造和在媒体上搁置点的极度精确。
在光敏树脂上产生的热头喷嘴只长约几微米。相比之下，在硅片上出产的MicroTFP印刷芯片中的喷嘴可所以长度的10倍以上，并且这个更大的喷嘴长度转化成更精确的墨滴地位。
